笹川和彦(長谷川昌孝,八木学,坂真澄、阿部博之): "表面に保護膜を有する多結晶配線におけるエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータ"日本機械学会2000年度年次大会講演論文集(II). No.00-1. 25-26 (2000)

笹川和彦(長谷川昌孝,八木学,坂真澄、阿部博之): "表面に保護膜を有する多結晶配線におけるエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータ"日本機械学会2000年度年次大会講演論文集(II). No.00-1. 25-26 (2000)
复制标题

Kazuhiko Sasakawa(长谷川正孝、八木学、坂真美、阿部博之):“表面有保护膜的多晶互连中的电迁移损伤控制参数”日本机械工程师学会 2000 年年会论文集(II)。 00-1。25-26(2000)

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献