Micromachined Thin Film Ceramic PZT Multimode Resonant Temperature Sensor
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DOI：
10.1109/jsen.2023.3294125
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发表时间：
2024-03-15
影响因子：
4.3
通讯作者：
Feng，Philip X. -L.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sui，Wen;Kaisar，Tahmid;Feng，Philip X. -L.
