Nonlinear lithographic properties by femtosecond laser pulses using a low-NA lens
Nonlinear lithographic properties by femtosecond laser pulses using a low-NA lens
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使用低数值孔径透镜的飞秒激光脉冲的非线性光刻特性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
溝尻瑞枝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shun Matsuura;Nobuo Shinozaki;溝尻瑞枝
