超臨界流体を用いたZnO薄膜の堆積とそれを用いたCu/ガラス構造の高密着化
超臨界流体を用いたZnO薄膜の堆積とそれを用いたCu/ガラス構造の高密着化
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使用超临界流体沉积 ZnO 薄膜以及使用它的 Cu/玻璃结构的高附着力
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
近藤英一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
渡邉満洋;爲國成昭;近藤英一