エッチング液中でのシリコンのレーザ深溝加工の試み
エッチング液中でのシリコンのレーザ深溝加工の試み
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蚀刻液中硅激光深槽加工的尝试
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大瀨良海人，細野高史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mitsuhiro Horade;Yoko Mizuta;Noritada Kaji;Tetsuya Higashiyama;and Hideyuki Arata;大瀨良海人，細野高史
