超高真空対応回転導入器の圧電素子分割による共振特性の改善
超高真空対応回転導入器の圧電素子分割による共振特性の改善
复制标题
通过分割超高真空兼容旋转导入器的压电元件来改善谐振特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
新野俊樹
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
船見慎太郎;新野俊樹
