K.Tsubouchi: "Al-CVD Technology for Multilevel Metallization" Proc.of Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1996, Boston. (1996)
K.Tsubouchi: "Al-CVD Technology for Multilevel Metallization" Proc.of Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1996, Boston. (1996)
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K.Tsubouchi：“用于多级金属化的 Al-CVD 技术”Proc.of Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI applications，1996 年，波士顿。
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