Deposition of diamond-like-carbon films by high power pulsed magnetron sputtering
Deposition of diamond-like-carbon films by high power pulsed magnetron sputtering
复制标题
高功率脉冲磁控溅射沉积类金刚石碳薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T. Kimura and M. Iida
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小野 仁;関川純哉;窪野隆能;T. Kimura and M. Iida
