M.Yoshimoto: "Deposition of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy by hybridーplasma CVD" Proceedings of the 8th symposium on Plasma Processing. 373-376 (1991)
M.Yoshimoto: "Deposition of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy by hybridーplasma CVD" Proceedings of the 8th symposium on Plasma Processing. 373-376 (1991)
复制标题
M. Yoshimoto：“混合等离子体 CVD 沉积氢化非晶硅碳合金”第八届等离子体加工研讨会论文集 373-376 (1991)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
