T.Sakuta, Y.Tanaka, K.C.Paul, M.M.Hossain, T.Ishigaki: "Non-equilibrium effects in pulse modulated induction thermal plasma for advanced processing"Trans. MRS-I. Vol.25. 35-38 (2000)
T.Sakuta, Y.Tanaka, K.C.Paul, M.M.Hossain, T.Ishigaki: "Non-equilibrium effects in pulse modulated induction thermal plasma for advanced processing"Trans. MRS-I. Vol.25. 35-38 (2000)
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T.Sakuta、Y.Tanaka、K.C.Paul、M.M.Hossain、T.Ishigaki:“先进加工中脉冲调制感应热等离子体的非平衡效应”Trans。
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