Analysis of plasma for carbon nanotube growth by plasma-enhanced chemical vapor deposition
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等离子体增强化学气相沉积碳纳米管生长的等离子体分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Ozeki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Susuki;H.Ebina;T.Hikihara;Y. Susuki and T. Hikihara;A. Oda;Y. Hizume;H. Akashi;A. Okita;Atsushi Okita;A.Oda;Akinori Oda;Atsushi Okita;A.Ozeki
