大気圧プラズマによるダイヤモンドライクカーボン膜の除去
大気圧プラズマによるダイヤモンドライクカーボン膜の除去
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利用常压等离子体去除类金刚石碳膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
元木 純平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田祐一;石井徹;太田昭男;小林大輔;鍵谷幸生;志岐 肇;元木 純平
