20nm厚Cu薄膜の界面端はく離き裂発生クライテリオン
20nm厚Cu薄膜の界面端はく離き裂発生クライテリオン
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20nm厚Cu薄膜界面边缘分层裂纹萌生判据
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宍戸徹也、高橋可昌、澄川貴志;他
