H. Ikeda: "Influences of impurities on oxidation processes of Si(100) substrates"Jpn. J. Appl. Phys.. 38. 2345-2348 (1999)
H. Ikeda: "Influences of impurities on oxidation processes of Si(100) substrates"Jpn. J. Appl. Phys.. 38. 2345-2348 (1999)
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H. Ikeda：“杂质对 Si(100) 衬底氧化过程的影响”Jpn。
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