V.K.Singh, M.Sasaki, J.H.Song, K.Hane: "Spray coated photoresist over anisotropically etched deep Si cavities"Digest of Papers of 2002 Microprocesses and Nanotechnology Conference. 188-189 (2002)
V.K.Singh, M.Sasaki, J.H.Song, K.Hane: "Spray coated photoresist over anisotropically etched deep Si cavities"Digest of Papers of 2002 Microprocesses and Nanotechnology Conference. 188-189 (2002)
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V.K.Singh、M.Sasaki、J.H.Song、K.Hane：“在各向异性蚀刻的深硅腔上喷涂光刻胶”2002 年微加工和纳米技术会议论文摘要。
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