二自由度空圧式除振台に対する圧力モード制御の検討
二自由度空圧式除振台に対する圧力モード制御の検討
复制标题
二自由度气动隔振台压力模式控制研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
青木ゆうい，中村幸紀，涌井伸二
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Nagase;R.E. Skelton;青木ゆうい，中村幸紀，涌井伸二
