Y.Ohtsu: "Characteristics of charged particles in narrow gap capacitively coupled RF plasma"Proceedings of 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases. 3. 207-208 (2001)
Y.Ohtsu: "Characteristics of charged particles in narrow gap capacitively coupled RF plasma"Proceedings of 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases. 3. 207-208 (2001)
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Y.Ohtsu：“窄隙电容耦合射频等离子体中带电粒子的特性”第 25 届国际电离气体现象会议论文集。
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