850nm单模面发射分布反馈式激光器

850nm单模面发射分布反馈式激光器
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DOI:
10.3788/cjl202249.1201006
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发表时间:
2022
期刊:
中国激光
影响因子:
--
通讯作者:
国伟华
国伟华
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
李南果;刘灿;张鹏斐;向敏文;汤宝;颜伟年;阚强;陆巧银;国伟华

文献摘要

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介绍一种新型的850nm单模面发射分布反馈激光器(SEDFB)。采用浅脊波导表面光栅结构提供足够的光反馈,采用含λ/4相移的二阶光栅在实现面发射的同时获得单纵模特性。采用方形氧化孔径构成无源分布布拉格反射镜(DBR)!有源分布式反馈区(DFB)!无源DBR三段结构,从而减小电流注入的有源区体积,获得了与垂直腔面发射激光器(VCSEL)类似的低阈值特性。对于50μm有源区长度的SEDFB,其阈值电流为1.8mA,当注入电流为6.5mA时,SEDFB的边模抑制比(SMSR)高达47dB。同时,该激光器在注入电流为9mA的情况下获得了17GHz的弛豫振荡频率。SEDFB实现了准圆形光斑的面发射输出,其远场光斑发散角的半峰全宽约为21°×26°。