Influence of surface etching and oxidation on the morphological growth of Al2O3 by ALD-猫眼课题宝

DOI：

10.1016/j.susc.2019.121479

发表时间：

2019-12

期刊：

Surface Science

影响因子：

1.9

通讯作者：

中科院分区：

化学3区

文献类型：

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作者：

Mikhail Trought;Isobel Wentworth;Chathura de Alwis;T. Leftwich;Kathryn A. Perrine