Yasushi Inoue: "Spectroscopic Studies on Preparation of Silicon Oxide Films by PECVD Using Organosilicon Compounds" Plasma Sources Sci.Technol.5(in press). (1996)
Yasushi Inoue: "Spectroscopic Studies on Preparation of Silicon Oxide Films by PECVD Using Organosilicon Compounds" Plasma Sources Sci.Technol.5(in press). (1996)
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Yasushi Inoue：“使用有机硅化合物通过 PECVD 制备氧化硅薄膜的光谱研究”等离子源 Sci.Technol.5（印刷中）。
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