多点同時顕微ラマン分光法を用いた多結晶SiとAl2O3の結晶粒界イメージング測定
多点同時顕微ラマン分光法を用いた多結晶SiとAl2O3の結晶粒界イメージング測定
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使用多点同时显微拉曼光谱测量多晶硅和 Al2O3 的晶界成像
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
來海博央
中科院分区:
文献类型:
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作者:
矢敷啓太;來海博央