Temperature dependence of inductively coupled plasma assisted growth of TiN thin films
Temperature dependence of inductively coupled plasma assisted growth of TiN thin films
复制标题
电感耦合等离子体辅助 TiN 薄膜生长的温度依赖性
DOI：
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
P. Baldo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Meng;T. Curtis;L. Rehn;P. Baldo
