M.Nagai, K.Kishida: "Thin Film Synthesis of Tungsten Nitride by CVD Method" Applied Surface Science. 32. 850-854 (1993)
M.Nagai, K.Kishida: "Thin Film Synthesis of Tungsten Nitride by CVD Method" Applied Surface Science. 32. 850-854 (1993)
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M.Nagai、K.Kishida：“CVD 法薄膜氮化钨合成”应用表面科学。
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