渡辺 征夫: "Effects of particles on He-SiH_4 modulatea RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 355-359 (1994)
渡辺 征夫: "Effects of particles on He-SiH_4 modulatea RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 355-359 (1994)
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Yukio Watanabe：“粒子对 He-SiH_4 调制射频放电的影响”Plasma Sources Sci.Technol.3 (1994)。
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