Substrate temperature measurement using a commercial band-edge detection system
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使用商用带边缘检测系统测量基板温度
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Ritchie
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Farrer;J. Harris;R. Thomson;D. Barlett;C. Taylor;D. Ritchie
