T.Meguro et al.: "Control of ALE window of GaAs employing active hydrogen" Applied Surface Science. 112. 118-121 (1997)

T.Meguro et al.: "Control of ALE window of GaAs employing active hydrogen" Applied Surface Science. 112. 118-121 (1997)
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T.Meguro 等人:“利用活性氢控制 GaAs 的 ALE 窗口”应用表面科学。

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