クラスター1次イオンを用いた PMMA 薄膜の負2次イオン質量分析における帯電効果の抑制

クラスター1次イオンを用いた PMMA 薄膜の負2次イオン質量分析における帯電効果の抑制
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使用团簇一次离子对 PMMA 薄膜负二次离子质谱分析中的充电效应的抑制

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
神谷富裕
神谷富裕
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
平田浩一;斉藤勇一;鳴海一雅;千葉敦也;山田圭介;神谷富裕

文献摘要

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