Single-pass forming for three-dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films
Single-pass forming for three-dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films
复制标题
通过多层薄膜的高速剪切实现三维微结构的单道成形
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Nakao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hamaguchi;H. Yonemoto;K. Nagato;K. Tsuchiya;M. Nakao
