Low-pressure Micro Plasma Generation using Microwave in Mirror-type Magnetic Fields
Low-pressure Micro Plasma Generation using Microwave in Mirror-type Magnetic Fields
复制标题
在镜面磁场中使用微波产生低压微等离子体
DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T.Nakatani
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H.Fujiyama;D..Kurogi;Y.Furue;T.Nakatani