Low-pressure Micro Plasma Generation using Microwave in Mirror-type Magnetic Fields

Low-pressure Micro Plasma Generation using Microwave in Mirror-type Magnetic Fields
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在镜面磁场中使用微波产生低压微等离子体

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Proc.of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas
影响因子:
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通讯作者:
T.Nakatani
T.Nakatani
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H.Fujiyama;D..Kurogi;Y.Furue;T.Nakatani

文献摘要

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