Dislocation structure in AlN films induced by in situ transmission electron microscope nanoindentation
Dislocation structure in AlN films induced by in situ transmission electron microscope nanoindentation
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原位透射电子显微镜纳米压痕诱导AlN薄膜中的位错结构
DOI：
10.1063/1.4764928
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Ohno and I. Yonenaga
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Tokumoto;K. Kutsukake;Y. Ohno and I. Yonenaga
