Depositing Mechanism of Metal Oxide Thin Film in the Liquid Phase Deposition Process
Depositing Mechanism of Metal Oxide Thin Film in the Liquid Phase Deposition Process
复制标题
液相沉积过程中金属氧化物薄膜的沉积机理
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Minoru Mizuhata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shin-ichi Nishimura;Shogo Hayase;Ryoji Kanno;Masatomo Yashima;Noriaki Nakayama;Atsuo Yamada;Minoru Mizuhata
