Nanoscale lithograph of Si surface with micro tip depending on surface adsorption water
Nanoscale lithograph of Si surface with micro tip depending on surface adsorption water
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基于表面吸附水的具有微尖端的硅表面纳米级光刻
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akihiro Takano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akira Kawai;Fumi Nishizaki;Akihiro Takano
