K. Furukawa: "Observation of Si Cluster Formation in SiO_2 Films through Annealing Process using x-ray Photoelectron Spectroscopy and Infrared Techniques" Appl. Phys. Lett.72. 725-727 (1998)

K. Furukawa: "Observation of Si Cluster Formation in SiO_2 Films through Annealing Process using x-ray Photoelectron Spectroscopy and Infrared Techniques" Appl. Phys. Lett.72. 725-727 (1998)
复制标题

K. Furukawa:“使用 X 射线光电子能谱和红外技术观察退火过程中 SiO_2 薄膜中 Si 团簇的形成”。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献