M.Watanabe: "Effect of vacancy-type defects on electrical activation of Pt implantation into Si" MRS Symp.proc.438. 131-136 (1997)

M.Watanabe: "Effect of vacancy-type defects on electrical activation of Pt implantation into Si" MRS Symp.proc.438. 131-136 (1997)
复制标题

M.Watanabe:“空位型缺陷对 Pt 注入 Si 的电激活的影响”MRS Symp.proc.438。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献