CMPプロセス導入による周期空間反転AlGaAs導波路の段差低減
CMPプロセス導入による周期空間反転AlGaAs導波路の段差低減
复制标题
通过引入 CMP 工艺减少周期性空间反转 AlGaAs 波导中的台阶
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
近藤高志
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
松本崇志;松下智紀;近藤高志
