Thermal stability of AlN/SiCN composite coatings prepared by r.f.-reactive sputtering
Thermal stability of AlN/SiCN composite coatings prepared by r.f.-reactive sputtering
复制标题
射频反应溅射制备AlN/SiCN复合涂层的热稳定性
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masateru Nose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuki Nagae;Kenji Matsuda;Masateru Nose
