A.Ohta, C.Biloiu, Y.Sakai, M.A.Bratescu, Y.Suda: "Deposition of a-C : F films by C_8F_<18> plasma CVD and their properties"Papers of Technical Committee for Electrical Discharges (IEEJ). ED-03-115. 49-54 (2003)

A.Ohta, C.Biloiu, Y.Sakai, M.A.Bratescu, Y.Suda: "Deposition of a-C : F films by C_8F_<18> plasma CVD and their properties"Papers of Technical Committee for Electrical Discharges (IEEJ). ED-03-115. 49-54 (2003)
复制标题

A.Ohta、C.Biloiu、Y.Sakai、M.A.Bratescu、Y.Suda:“通过 C_8F_<18> 等离子体 CVD 沉积 a-C : F 薄膜及其性能”放电技术委员会 (IEEJ) 的论文。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献