AlInN膜および2次元フォトニック結晶共振器とこれらの製造方法ならびに半導体発光素子
AlInN膜および2次元フォトニック結晶共振器とこれらの製造方法ならびに半導体発光素子
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AlInN膜、二维光子晶体谐振器及其制造方法以及半导体发光器件
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发表时间:
2017
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