Thin Film Deposition and Growth Processes by Ionized Cluster Beams
Thin Film Deposition and Growth Processes by Ionized Cluster Beams
复制标题
电离簇束薄膜沉积和生长过程
DOI：
10.1557/proc-206-383
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发表时间：
1990
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Koh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Yamada;G. Takaoka;H. Usui;S. Koh
