山田直紀,P.Ventzek他: "誘導結合型プラズマリアクタにおけるプラズマソースの制御" 電気学会放電研究会資料. ED-96-128. (1996)
山田直紀,P.Ventzek他: "誘導結合型プラズマリアクタにおけるプラズマソースの制御" 電気学会放電研究会資料. ED-96-128. (1996)
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Naoki Yamada、P. Ventzek 等人：“电感耦合等离子体反应器中的等离子体源控制”IEEJ 放电研究组材料 (1996)。
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