広視野レーザ干渉計を用いた円筒形状の高精度測定法の開発
広視野レーザ干渉計を用いた円筒形状の高精度測定法の開発
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利用宽视场激光干涉仪开发高精度圆柱形测量方法
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新田勇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐久間俊介;福島直幸;月山陽介;新田勇
