マイクロダイヤモンドツールによる単結晶シリコンのマイクロ加工
マイクロダイヤモンドツールによる単結晶シリコンのマイクロ加工
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使用微型金刚石工具对单晶硅进行微加工
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大山達雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
稲垣清紀;森田昇;山田茂;高野登;大山達雄
