Microelectron field emitter array with focus lenses for multielectron beam lithography based on insulator wafer
Microelectron field emitter array with focus lenses for multielectron beam lithography based on insulator wafer
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基于绝缘体晶圆的多电子束光刻用聚焦透镜微电子场发射器阵列
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Sato et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P.N.Minh;T.Oho;N.Sato et al.
