T.Kimura and K.Ohe: "Global Model of inductively coupled Ar plasmas using two-temperature approximation"J.Appl.Phys.. 89(印刷中). (2001)
T.Kimura and K.Ohe: "Global Model of inductively coupled Ar plasmas using two-temperature approximation"J.Appl.Phys.. 89(印刷中). (2001)
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T. Kimura 和 K. Ohe：“使用双温度近似的感应耦合 Ar 等离子体的全局模型”J. Appl。 89（出版中）。
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