Generation of high-power arbitrary-wave-form modulated inductively coupled plasmas for materials processing
Generation of high-power arbitrary-wave-form modulated inductively coupled plasmas for materials processing
复制标题
产生用于材料加工的高功率任意波形调制电感耦合等离子体
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Uesugi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Tanaka;Y.Morishita;S.Fushie;K.Okunaga;Y.Uesugi
