Debris-free laser drilling and grooving of single-crystalline silicon using liquid etchant and optical fibers
Debris-free laser drilling and grooving of single-crystalline silicon using liquid etchant and optical fibers
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使用液体蚀刻剂和光纤对单晶硅进行无碎片激光钻孔和开槽
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhiko SAKAKI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takashi HOSONO;Kazuhiko SAKAKI
