Ge上へのSiO_2ゲート絶縁膜形成

Ge上へのSiO_2ゲート絶縁膜形成
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Ge上SiO_2栅绝缘膜的形成

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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中島 寛
中島 寛
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
平山 佳奈;吉良 渉;末廣 雄策;王 冬;中島 寛

文献摘要

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