S.Yamada & Y.Ohki(Waseda University): "Eleactoron temperature in rf after-glow Plasma" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 105-108
S.Yamada & Y.Ohki(Waseda University): "Eleactoron temperature in rf after-glow Plasma" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 105-108
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山田南
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