古川 勇二,諸貫 信行: "真空環境における高精度直線運動に関する研究" 精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (1993)
古川 勇二,諸貫 信行: "真空環境における高精度直線運動に関する研究" 精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (1993)
复制标题
Yuji Furukawa、Nobuyuki Moronuki：“真空环境中高精度直线运动的研究”日本精密工程学会春季会议论文集（1993）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
