T.Hara J.Hiyoshi: "Damage Formed by Electron Cyclotron Reトonance Plasma Etching on Silicon Surface"" Japan J.Appl.Phys.30(5). 1045-1049 (1991)
T.Hara J.Hiyoshi: "Damage Formed by Electron Cyclotron Reトonance Plasma Etching on Silicon Surface"" Japan J.Appl.Phys.30(5). 1045-1049 (1991)
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T.Hara J.Hiyoshi：“硅表面电子回旋逆反射等离子体蚀刻形成的损伤”，Japan J.Appl.Phys.30(5).1045-1049 (1991)
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